涂層/薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)（kSA MOS Coating Stress tester,薄膜應(yīng)力測試儀）采用非接觸MOS激光陣列技術(shù)；不但可以對樣品表面應(yīng)力分布進行統(tǒng)計分析，而且還可以進行樣品表面二維應(yīng)力、曲率成像分析；并且這種設(shè)計可以保證所有陣列的激光光點一直在同一頻率運動或掃描，從而有效的避免了外界振動對測試結(jié)果的影響；同時提高了測試的分辨率；適合各種材質(zhì)和厚度薄膜應(yīng)力分析。
典型用戶：Harvard University 2套，Stanford University，Johns Hopkins University，Brown University 2套，Karlsruhe Research Center,Max Planck Institute，西安交通大學(xué)等）、中國計量科學(xué)研究院、中科院上海微系統(tǒng)所、中科院上海技物所、中科院半導(dǎo)體所、重慶26所、半導(dǎo)體制和微電子造商（如IBM.，Seagate Research Center, Phillips Semiconductor, NEC，Nissan ARC, Nichia Glass Corporation）。
相關(guān)產(chǎn)品
? 實時原位薄膜應(yīng)力儀（kSA MOS Film Stress Tester）：多光束MOS技術(shù)，可裝在各種真空沉積設(shè)備上（如：MBE, MOCVD, sputtering, PLD, PECVD, and annealing chambers ects），對于薄膜生長過程中的應(yīng)力變化進行實時原位測量和二維成像分析；
? 薄膜熱應(yīng)力測量系統(tǒng)（kSA MOS Thermal-Scan Film Stress Tester）
技術(shù)參數(shù)
1.XY雙向程序控制掃描平臺掃描范圍：300mm；2m （可選）；二維應(yīng)力分析
2.掃描速度：可達20mm/s（x,y）；
3.XY雙向掃描平臺掃描步進/分辨率：1 μm；
4.平均曲率分辨率：20km，5×10-5 1/m (1-sigma)；
5.薄膜應(yīng)力測量范圍：3.2×106到7.8×1010dynes/cm2（或者3.2×105Pa to7.8×109Pa）(1-sigma)；
6.應(yīng)力測量分辨率：優(yōu)于0.32MPa或1% (1-sigma);
7.應(yīng)力測量重復(fù)性：0.02MPa(1-sigma)；
8.平均曲率重復(fù)性：<5×10-51/m (1 sigma) (1-sigma)；
9.程序化控制掃描模式：選定區(qū)域、多點線性掃描、全樣品掃描；
10.成像功能：樣品表面2D曲率成像，定量薄膜應(yīng)力成像分析；
11.測量功能：曲率、曲率半徑、應(yīng)力強度、應(yīng)力和翹曲等；
12.二維激光陣列測量技術(shù)：不但可以對樣品表面進行二維曲率成像分析；而且這種設(shè)計能保證所有陣列的激光光點一直在同一頻率運動或掃描，從而有效的避免了外界振動對測試結(jié)果的影響；同時提高了測試的分辨率；
主要配置
1.12位單色CCD檢測系統(tǒng)：分辨率 1360 x 1024 pixels (1.4MP), 6.45μm pixel size；有效感光面積8.8mm x 6.6mm；曝光時間可控范圍10us to 77.3s；
2.激光和光學(xué)系統(tǒng)：激光波長660nm(可定制其他波長激光器)，激光功率70mW，恒電流運行模式，穩(wěn)定性≤2%（8小時）；帶溫控的激光控制器（出廠設(shè)定溫度25°C），溫度穩(wěn)定性<0.2°C；
3.自動光學(xué)追蹤系統(tǒng)：當(dāng)進行樣品測試時，用來追蹤伺服系統(tǒng)而檢測來自樣品表面反射光；
4.XY方向線性掃描樣品臺：掃描范圍300*300mm；分辨率1um；掃描速度可達20mm/sec.，軟件控制；
5.計算機、MOS數(shù)據(jù)采集和系統(tǒng)控制電路板：Windows 操作系統(tǒng)；
6.測量分析軟件：數(shù)據(jù)采集，系統(tǒng)控制，自動激光光點檢測，自動曝光時間檢測（避免由于材料表面反射率的強烈變化而引起檢測器過載現(xiàn)象），曲率、曲率半徑、應(yīng)力強度、應(yīng)力、翹曲數(shù)據(jù)采集和圖像顯示，您可以選擇陣列任意數(shù)量激光點進行測試，分析功能：有線剖面分析、統(tǒng)計分析、等高線圖分析等，便捷的2D和3D圖像顯示和調(diào)整功能，數(shù)據(jù)ASCII輸出；
