kSA MOS Ultra Scan采用非接觸 MOS（多光束光學傳感） 激光技術(shù)；不但可以對薄膜的應(yīng)力、表面曲率和翹曲進行測量，還可對二維應(yīng)力 Mapping成像統(tǒng)計分析；同時測量應(yīng)力、曲率隨溫度變化的關(guān)系。

基于kSA MOS 技術(shù)，kSA MOS Ultra Scan使用二維激光陣列掃描繪制半導(dǎo)體晶圓、光學鏡面、玻璃、透鏡等各種拋光表面的二維曲率、翹曲度和薄膜應(yīng)力分布圖。kSA MOS Ultra Scan適用于室溫條件下測量需求，實現(xiàn)晶元全自動2D掃描測量，同時獲得3D圖。

1.XY雙向程序控制掃描平臺掃描范圍：300mm；2m （可選）；二維應(yīng)力分析

2.掃描速度：可達20mm/s（x,y）；

3.XY雙向掃描平臺掃描步進/分辨率：1 μm；

4.平均曲率分辨率：20km，5×10^-5 1/m (1-sigma)；

5.薄膜應(yīng)力測量范圍：3.2×10⁶到7.8×10¹⁰dynes/cm²（或者3.2×10⁵Pa to7.8×10⁹Pa）(1-sigma)；

6.應(yīng)力測量分辨率：優(yōu)于0.32MPa或1% (1-sigma);

7.應(yīng)力測量重復(fù)性：0.02MPa(1-sigma)；

8.平均曲率重復(fù)性：<5×10^-51/m (1 sigma) (1-sigma)；

9.程序化控制掃描模式：選定區(qū)域、多點線性掃描、全樣品掃描；

10.成像功能：樣品表面2D曲率成像，定量薄膜應(yīng)力成像分析；

11.測量功能：曲率、曲率半徑、應(yīng)力強度、應(yīng)力和翹曲等；

12.二維激光陣列測量技術(shù)：不但可以對樣品表面進行二維曲率成像分析；而且這種設(shè)計能保證所有陣列的激光光點一直在同一頻率運動或掃描，從而有效的避免了外界振動對測試結(jié)果的影響，同時提高測試的分辨率；

1.14位單色CCD檢測系統(tǒng)：分辨率 3296 x 2472 pixels (8MP), 5.5μm pixel size，有效感光面積18.13mm x 13.6mm，曝光時間可控范圍10us to 26.8；

2.激光和光學系統(tǒng)：激光波長660nm(可定制其他波長激光器)，激光功率70mW，恒電流運行模式，穩(wěn)定性≤2%（8小時）；帶溫控的激光控制器（出廠設(shè)定溫度25°C），溫度穩(wěn)定性<0.2°C；

3.自動光學追蹤系統(tǒng)：當進行樣品測試時，用來追蹤伺服系統(tǒng)而檢測來自樣品表面反射光；

4.XY方向線性掃描樣品臺：掃描范圍300*300mm；分辨率1um；掃描速度可達20mm/sec.，軟件控制；

5.計算機、MOS數(shù)據(jù)采集和系統(tǒng)控制電路板：Windows 操作系統(tǒng)；

6.測量分析軟件：數(shù)據(jù)采集，系統(tǒng)控制，自動激光光點檢測，自動曝光時間檢測（避免由于材料表面反射率的強烈變化而引起檢測器過載現(xiàn)象），曲率、曲率半徑、應(yīng)力強度、應(yīng)力、翹曲數(shù)據(jù)采集和圖像顯示，您可以選擇陣列任意數(shù)量激光點進行測試，分析功能：有線剖面分析、統(tǒng)計分析、等高線圖分析等，便捷的2D和3D圖像顯示和調(diào)整功能，數(shù)據(jù)ASCII輸出；

光學薄膜應(yīng)力分布圖

表面Patterned試樣應(yīng)力分布圖

樣品翹曲測量結(jié)果