在線X射線熒光膜厚測量儀
廠家：k-Space Associates, Inc.
型號：kSA XRF
技術介紹
對于膜層厚度薄的金屬薄膜和介電薄膜，光學方法測量其厚度顯得不是很可靠。kSA XRF 系統(tǒng)的推出主要就是為了解決該問題，它可以在線測量許多不同材料基底（例如：玻璃和太陽能電池組件）上的薄膜厚度。
設備詳情
? 配備保護性定制框架外殼，放置X射線源和探測器。
? 該設備橋接了輸送線，以便于設備安裝和工廠用戶對系統(tǒng)的訪問。
? 當 X 射線源正在使用時，會有警示燈閃爍提示。
? 配備面板的前/后邊緣光電檢測器，用于觸發(fā)設備自動啟停。
? 柜式控制器提供數(shù)據處理及存儲功能。
? 配備小型燈塔用于指示檢測情況。
產品優(yōu)勢
? 某些薄介電薄膜，光學方法難以測量其厚度，如低于100nm厚度薄膜；在這種情況下，kSA XRF可以實現(xiàn)測量。
? 可在多種基板上測量金屬薄膜厚度。
? 實時數(shù)據采集，檢測薄膜厚度缺陷并進行在線反饋。
? 軟件功能可定制，用戶可以依據特定要求設置。
? 檢測過程中可對質量控制進行驗證，以確保涂層厚度在公差范圍內。
? 工廠集成功能：使工廠用戶能夠將計量整合到現(xiàn)有系統(tǒng)（工廠警報、PLC、電子郵件警報等）中。
? 操作便捷，幾乎不需要額外設置，只需操作員定期進行設備校準。
工作原理
? 該系統(tǒng)由一個帶有高壓發(fā)生器的 X 射線管和一個 X 射線探測器系統(tǒng)組成。
? 其 X 射線檢測系統(tǒng)組合了固態(tài)探測器、放大器、脈沖高度分析儀和多通道分析儀。
? 光譜儀能量校準后，系統(tǒng)自動識別 X 射線光譜峰值，并收集峰值強度以進行進一步處理。
? 該工具可根據客戶的薄膜配方和測量需求測量對應的原子種類。
軟件功能
? 使用專有的 k-Space 軟件測量，分析和存儲數(shù)據。
? 可與現(xiàn)有質量控制系統(tǒng)對接通訊。
? 利用光電檢測器的觸發(fā)器啟動和停止數(shù)據采集。
? 專為典型的玻璃和太陽能電池板輸送速度而設計。
? 完全自動化，能夠與工廠自動化通信對接。
? 報警信號可便捷的自定義配置。
? 單個檢測頭可以放置在面板寬度上的任何位置，并且可選配使用多個檢測頭。
? 厚度測量范圍為 0~500 nm±1 nm，靈敏度和測量不確定度取決于被測元素。
軟件截圖
