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kSA Emissometer 石墨盤發(fā)射率測量系統(tǒng):采用雙傳感器設(shè)計(jì)，可在石墨盤旋轉(zhuǎn)同時(shí)進(jìn)行整個(gè)石墨盤的漫反射率、鏡面反射率及發(fā)射率二維分布Mapping測量。物體的發(fā)射率與物體的表面狀態(tài)(包括物體表面溫度、表面粗糙度、面形以及表面氧化層、涂層、缺陷、殘留物、表面雜質(zhì)等)有關(guān)。所以，通過對(duì)石墨盤各個(gè)點(diǎn)發(fā)射率的測量可以直接反映出石墨盤表面肉眼難以觀測到的表面細(xì)節(jié)，同時(shí)基于黑體輻射原理進(jìn)一步評(píng)估石

kSA 400 RHEED圖形分析系統(tǒng):通過對(duì)RHEED入射電子能量的控制，用高分辨、高速CCD直接采集來自樣品對(duì)電子束的衍射圖像，并用專業(yè)軟件系統(tǒng)對(duì)其進(jìn)行圖像處理和數(shù)據(jù)分析， 自動(dòng)計(jì)算測量晶格間距、共振長度和振動(dòng)強(qiáng)度等參數(shù)，同時(shí)通過衍射條紋的強(qiáng)度震蕩曲線檢測薄膜沉積速率等信息。

kSA MOS Ultra Scan離線薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)：對(duì)薄膜的應(yīng)力、表面曲率和翹曲進(jìn)行準(zhǔn)確的測量，還可對(duì)二維應(yīng)力Mapping成像統(tǒng)計(jì)分析；同時(shí)準(zhǔn)確測量應(yīng)力、曲率隨溫度變化的關(guān)系。