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kSA Emissometer 石墨盤發(fā)射率測量系統(tǒng):采用雙傳感器設計，可在石墨盤旋轉同時進行整個石墨盤的漫反射率、鏡面反射率及發(fā)射率二維分布Mapping測量。物體的發(fā)射率與物體的表面狀態(tài)(包括物體表面溫度、表面粗糙度、面形以及表面氧化層、涂層、缺陷、殘留物、表面雜質等)有關。所以，通過對石墨盤各個點發(fā)射率的測量可以直接反映出石墨盤表面肉眼難以觀測到的表面細節(jié)，同時基于黑體輻射原理進一步評估石

kSA 400 RHEED圖形分析系統(tǒng):通過對RHEED入射電子能量的控制，用高分辨、高速CCD直接采集來自樣品對電子束的衍射圖像，并用專業(yè)軟件系統(tǒng)對其進行圖像處理和數(shù)據(jù)分析， 自動計算測量晶格間距、共振長度和振動強度等參數(shù)，同時通過衍射條紋的強度震蕩曲線檢測薄膜沉積速率等信息。

kSA MOS Ultra Scan離線薄膜應力測量系統(tǒng)：對薄膜的應力、表面曲率和翹曲進行準確的測量，還可對二維應力Mapping成像統(tǒng)計分析；同時準確測量應力、曲率隨溫度變化的關系。