【產(chǎn)品介紹】kSA Emissometer 石墨盤發(fā)射率測量系統(tǒng)

kSA Emissometer 石墨盤發(fā)射率測量系統(tǒng):采用雙傳感器設(shè)計(jì)，可在石墨盤旋轉(zhuǎn)同時(shí)進(jìn)行整個(gè)石墨盤的漫反射率、鏡面反射率及發(fā)射率二維分布Mapping測量。物體的發(fā)射率與物體的表面狀態(tài)(包括物體表面溫度、表面粗糙度、面形以及表面氧化層、涂層、缺陷、殘留物、表面雜質(zhì)等)有關(guān)。所以，通過對石墨盤各個(gè)點(diǎn)發(fā)射率的測量可以直接反映出石墨盤表面肉眼難以觀測到的表面細(xì)節(jié)，同時(shí)基于黑體輻射原理進(jìn)一步評估石墨盤表面溫度的分布情況。 這對有效控制器件的質(zhì)量，以及優(yōu)化生長工藝有極大的幫助。