kSA 400 RHEED圖形分析系統(tǒng):通過對RHEED入射電子能量的控制,用高分辨、高速CCD直接采集來自樣品對電子束的衍射圖像,并用專業(yè)軟件系統(tǒng)對其進(jìn)行圖像處理和數(shù)據(jù)分析, 自動計算測量晶格間距、共振長度和振動強度等參數(shù),同時通過衍射條紋的強度震蕩曲線檢測薄膜沉積速率等信息。