用于高功率激光器和極深紫外EUV源的光學(xué)部件性能綜合測(cè)量，且性能和參數(shù)測(cè)量基于ISO國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。

別名：弱吸收測(cè)量?jī)x，強(qiáng)激光材料性能測(cè)試儀，高功率激光薄膜光熱弱吸收測(cè)量?jī)x，光學(xué)薄膜微弱吸收測(cè)量?jī)x，光學(xué)材料光熱效應(yīng)測(cè)量?jī)x

主要特點(diǎn)

        基于ISO11551標(biāo)準(zhǔn)吸收測(cè)量

        基于ISO11254標(biāo)準(zhǔn)激光誘導(dǎo)損傷閾值測(cè)量

        波前畸變（透鏡加熱，擠壓）

        透射測(cè)量

        反射測(cè)量

        基于ISO13696散射測(cè)量

        衰減（color centers）

        熒光/發(fā)光

Absorptance: Thermal lens in fused silica @193nm

可用的輻射源

        高功率準(zhǔn)分子激光器

              -351nm、308nm、248nm、193nm、157nm

        固體激光器

              -1064nm、532nm、355nm、266nm（ns and ps 脈沖寬度）

              -1070nm光纖激光（500W cw）

              -可調(diào)諧OPO：680~980nm+IR-Idler

        激光誘導(dǎo)EUV/XUV源

              -13nm

              -~4nm

Two‐dimensional scatter map

@248nm

Micrographs of laser‐induced damage sites of various laser‐optical materials

光束測(cè)試軟件

測(cè)試基于ISO標(biāo)準(zhǔn)