主要特點

        壓電驅(qū)動微動平臺，裝配CCD相機

        光束方向快速移動

        臨近位置光束剖面/形貌分析

        波前推導(dǎo)CCD像素級分辨

        光束傳播參數(shù)分析（M2、瑞利長度、束腰直徑）

        Zernike分析畸變控制

        采用自我參考法

        無光束相干要求

        緊湊式設(shè)計，在線檢測

操作原理

技術(shù)規(guī)格

        CCD相機USB3.0通訊

        空間分辨率<10um

        多種傳感器覆蓋光譜范圍：1100nm (NIR) to 1nm (soft x‐rays)

        實時波前分析

        測試依據(jù)ISO標(biāo)準(zhǔn)

光束測試軟件

測試基于ISO標(biāo)準(zhǔn)