主要特點(diǎn)

        Hartmann波前傳感器（相干和非相干輻射）

        緊湊結(jié)構(gòu)

        光化性能檢測(cè)

            -EUVL 等離子源

            -自由電子激光

            -HHG高次諧波束

        實(shí)時(shí)光學(xué)調(diào)整

        單個(gè)脈沖重復(fù)性：λ/116 (wrms)，for EUV (λ =13.5 nm)

技術(shù)規(guī)格

        波長(zhǎng)范圍：<1nm~60nm（量子轉(zhuǎn)換涂層）

        視場(chǎng)：9mmX6.7mm（可選更大尺寸）

        動(dòng)態(tài)范圍：14Bit

        Hartmann 盤：precision pinholes ?75μm, 250μm pitch

        傾角：±10°

        XY調(diào)節(jié)范圍：±10mm

        UHV兼容：CF63法蘭

Wavefront measurement of Free Electron Laser FLASH

(DESY/Hamburg) at λ=13.5nm, before (above) and after

(below) adjustment of beam line optics (B. Fl?ter, K.

Mann, K. Tiedtke et al. NIM A 635, S108–S112 (2011) )

Spot pattern @ λ=1.5 nm

(LCLS / Stanford)

Reconstructed intensity profile

光束測(cè)試軟件

測(cè)試基于ISO標(biāo)準(zhǔn)