多功能 3D 光學(xué)共聚焦顯微鏡（ OPTELICS HYBRID+，三維表面輪廓儀/三維表面形貌儀 ），高度方向測量精度達(dá)0.05nm；系統(tǒng)整合了白光共聚焦+激光共聚焦技術(shù)；以雙共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，集6項(xiàng)測試功能于一體，包括白光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉測量、垂直白光干涉測量、相差干涉測量、反射分光膜厚測量等功能；通常多臺設(shè)備才能完成的測量，僅需一臺設(shè)備即可實(shí)現(xiàn)，解決了需要使用多種工具的麻煩，滿足在各種測量場景中的測試需求。
三維光學(xué)共聚焦顯微鏡（三維表面輪廓儀/三維表面形貌儀） 一個(gè)平臺提供6種測試功能寬視野+High精度測量
搭載波長405nm的紫色半導(dǎo)體激光，無需前處理，以可媲美電子顯微鏡的High分辨率，鮮明捕捉納米級細(xì)微構(gòu)造。共聚焦與微分干涉（DIC）相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)細(xì)微凹凸形狀的可視化。由于焦點(diǎn)深度極低，對于透明樣品可以排除其背面的影響僅對表面進(jìn)行觀察。數(shù)毫米寬廣視野內(nèi)的納米級形狀測量白光通過雙光束干涉鏡產(chǎn)生的干涉波形，通過垂直方向掃描找到干涉光強(qiáng)度高點(diǎn)，得到樣品的高度分布數(shù)據(jù)。原理上，高度分辨率不受物鏡放大倍數(shù)影響，因此可使用低倍鏡快速完成寬視野范圍測量。利用波長切換功能對6個(gè)波長的絕對反射率進(jìn)行測量，光學(xué)建模計(jì)算得到膜厚。數(shù)nm～1μm的單層/多層膜厚可測量。測量區(qū)域在共聚焦觀察圖像上固定，亞微米區(qū)域～全視野的數(shù)mm區(qū)域的平均膜厚均可測量。而且因各個(gè)像素(pixel)的膜厚能夠計(jì)測，所以可以測量膜厚分布。白光通過雙光束干涉鏡產(chǎn)生的干涉條紋，與從樣品反射回的反射光的光程差直接相關(guān)。在垂直方向細(xì)微移動得到4組干涉圖像，通過解析實(shí)現(xiàn)高分辨率的高度分布測量。3D 形貌測量共聚焦顯微鏡（HYBRID）實(shí)現(xiàn)了業(yè)界快速幀率(15Hz~120Hz)掃描，實(shí)現(xiàn)圖像拼接、自動測量、自動缺陷檢測和快速測量。三維形貌測量共聚焦顯微鏡（HYBRID）高度方向測量精度達(dá)0.05nm。LM eye是HYBRID的測量和分析軟件，提供多種功能，幫助您順利操作。可以測量和分析參數(shù)，包括輪廓，粗糙度和薄膜厚度。LIBRA 是一個(gè)軟件程序，它使用固定的平臺執(zhí)行自動測量。LM Inspect 是一個(gè)軟件程序，可以自動檢測基材上的小顆粒和缺陷。并且支持使用缺陷審查和深度學(xué)習(xí)進(jìn)行高精度缺陷分類。- 產(chǎn)品咨詢及購買請聯(lián)系我們 -
