kSA BandiT實(shí)時(shí)襯底溫度測(cè)試儀是一種非接觸、實(shí)時(shí)測(cè)量半導(dǎo)體襯底表面溫度的測(cè)試系統(tǒng),采用半導(dǎo)體材料吸收邊隨溫度的變化的原理,實(shí)時(shí)測(cè)量晶片/襯底的溫度。