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蒸汽發(fā)生器 蒸汽消融用通過(guò)精密計(jì)量泵精準(zhǔn)控制進(jìn)液量，通過(guò)精密相變汽化模塊將液體先分散成液膜再進(jìn)行換熱轉(zhuǎn)化成水蒸氣，水蒸氣通過(guò)高溫耐腐蝕預(yù)熱器將水蒸氣的溫度升至100℃-800℃，可以穩(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。

蒸汽發(fā)生器精密電子制造用分為小試裝置和大中試裝置。小試裝置主要作為實(shí)驗(yàn)室設(shè)備使用，其液體水流量達(dá)10-80g/min。大中試裝置流量大，主要應(yīng)用于量產(chǎn)，其液體水流量達(dá)12-48kg/h。

小型蒸汽發(fā)生器 材料改性用采用特殊算法，精確控制汽化進(jìn)口的水流量和汽化過(guò)程中功率、液位、壓力、溫度等 最終達(dá)到對(duì)出口蒸汽的調(diào)節(jié)。精密控制精度，蒸發(fā)量大范圍精準(zhǔn)可調(diào)。

微型蒸汽發(fā)生器器出口溫度可調(diào)節(jié)范圍廣，100~1000℃，蒸氣流量精度高，可達(dá)±1%，蒸氣氣態(tài)流量可從1mL/min~1000L/min可選，液態(tài)水蒸發(fā)量可從0.5uL/min~1000mL/min可選。

低壓高溫蒸汽發(fā)生器出口溫度可調(diào)節(jié)范圍廣，100~1000℃，蒸氣流量精度高，可達(dá)±1%，蒸氣氣態(tài)流量可從1mL/min~1000L/min可選，液態(tài)水蒸發(fā)量可從0.5uL/min~1000mL/min可選。

蒸汽發(fā)生器 600℃高溫操作過(guò)程更加簡(jiǎn)單和快捷，改變傳統(tǒng)按鈕操作功能，走向智能化。可以設(shè)置參數(shù)，顯示數(shù)據(jù)，監(jiān)控設(shè)備狀態(tài)，以曲線/動(dòng)畫(huà)等形式描繪工藝控制過(guò)程。